パワー半導体材料SiC基板の8インチ量産ライン構築を決定

2024年9月27日
住友金属鉱山株式会社

住友金属鉱山株式会社（本社：東京都港区）とその100%子会社である株式会社サイコックス（本社：東京都港区）は、サイコックス大口工場（鹿児島県伊佐市）に貼り合せSiC（シリコンカーバイド）基板「SiCkrest®」（サイクレスト®）の8インチ（200mm）量産ラインを構築することを決定しました。
SiCkrestは、6インチ（150mm）基板は販売を開始しており、貼り合せ技術のライセンス供与も実施しています。2022年7月に開発ラインの投資を決定した大口径の8インチ基板は、2024年9月より顧客認定の取得に向けたサンプル出荷を開始しました。このたびの8インチ基板の量産ライン構築により2025年度下期には貼り合せSiC基板の月産能力は1万枚（6インチ換算）を超え、さらに、ライセンス供与先への多結晶SiC支持基板の供給も開始する予定です。

詳細については、以下PDFファイルをご覧ください。