材料製品情報
単結晶製品 置換型ガドリニウムガリウムガーネット【SGGG】
概要
SGGG基板は、Bi希土類ガーネットから液相エピタキシャル成長法（Liquid Phase Epitaxy:LPE法）で製造されるファラデー回転子の種結晶です。
品質特性
| SGGG | 4“ | 3“ | |
|---|---|---|---|
| Growth method | CZ (Czochralski) | ||
| Crystal | Single Crystal | ||
| Outer dimensions | Diameter (mm) | 100.0 ± 0.13 | 76.2 ± 0.2 |
| Thickness (μm) | 600～ ± 25 | ||
| Orientation Flat (mm) | 20.0 ± 5/-2 | ||
| Second Orientation Flat (mm) | 10.0 ± 5/-2 | ||
| Orientation and Accuracy | Main surface orientation (deg) | [111] ± 0.3 ° | |
| Orientation Flat (deg) | [- 110] ± 2 | [- 110] ± 1 | |
| SOF (deg) | [- 1 - 1 - 2] ± 1 | ||
| TTV(μm) | ≦6 | ||
| Surface:Front side | Polished | ||
| Surface:Back side | Polished | ||
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